掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope，簡(jiǎn)稱 SEM）利用高能電子束逐點(diǎn)掃描樣品表面，并收集二次電子、背散射電子等多種信號(hào)進(jìn)行成像。與傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡相比，SEM 具有以下顯著特點(diǎn)：

高分辨率：可達(dá) 1–2 nm（取決于機(jī)型與電子源）。

大景深：能夠呈現(xiàn)更立體的表面形貌。

多功能分析：形貌、成分、晶體取向、局部缺陷等多信息同步獲取。

樣品適應(yīng)性廣：導(dǎo)電或經(jīng)導(dǎo)電處理的固體樣品均可直接觀測(cè)。

隨著半導(dǎo)體工藝、微納加工、先進(jìn)材料等領(lǐng)域?qū)Ω叻直媛蕶z測(cè)的需求日益增長(zhǎng)，電池、電催化劑、燃料電池對(duì)結(jié)構(gòu)與成分的精細(xì)表征，以及細(xì)胞、微生物、納米藥物等生物樣品的研究不斷增加，SEM 的應(yīng)用范圍和市場(chǎng)需求正由科研拓展至產(chǎn)業(yè)，由靜態(tài)表征邁向多模態(tài)、原位檢測(cè)。

在這一趨勢(shì)下，Phytron VSS 真空步進(jìn)電機(jī)被廣泛應(yīng)用于 SEM 的核心運(yùn)動(dòng)與定位單元，包括：樣品臺(tái)（Sample Stage）多軸驅(qū)動(dòng)，EDS（能量色散 X 射線譜）探頭定位，背散射探測(cè)器或光學(xué)探頭收放與角度調(diào)整

由于 SEM 對(duì)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)要求極高，步進(jìn)電機(jī)需具備以下能力：適應(yīng)高真空環(huán)境，高精度定位，支持高達(dá) 300,000 脈沖/秒驅(qū)動(dòng)信號(hào)，高可重復(fù)性、低速大力矩，保證穩(wěn)定無(wú)振動(dòng)的微小位移

Phytron 自 1984 年起便推出首款真空環(huán)境專用電機(jī)，憑借數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn)與對(duì)性能的持續(xù)追求，已成為真空步進(jìn)電機(jī)的重要供應(yīng)商。VSS 系列兩相混合式步進(jìn)電機(jī)完全滿足 SEM 應(yīng)用需求：

可在 10⁻¹¹ hPa 的真空環(huán)境下工作

保持扭矩覆蓋 3.4 mNm 至 13 Nm

微步進(jìn)模式下步距分辨率可達(dá) 1/512，并可配合編碼器實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位

獨(dú)特磁路設(shè)計(jì)使電機(jī)在保持位置時(shí)無(wú)抖動(dòng)效應(yīng)，尤其適合探頭及探測(cè)器定位

此外，Phytron 還可提供：VGPL 行星/諧波傳動(dòng)齒輪；KTC/Pt100 熱傳感器；編碼器與雙軸選項(xiàng)，以滿足多樣化和定制化需求。

北京漢達(dá)森為客戶提供涵蓋極端環(huán)境真空電機(jī)、標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)步進(jìn)電機(jī)、集成式步進(jìn)電機(jī)、直流減速電機(jī)、防爆電機(jī)及振動(dòng)電機(jī)等在內(nèi)的自動(dòng)化解決方案，歡迎垂詢。